|
№
|
Параметр
|
Значение
|
|
Основная
рентгеновская трубка
|
|
1
|
Максимальное
напряжение, кВ
|
240 или
300
|
|
2
|
Максимальная
мощность, Вт
|
320/500
|
|
3
|
Различимость
деталей, мкм
|
≤ 1
|
|
4
|
Конструкция
|
Открытая,
с массивной мишенью
|
|
Дополнительная
рентгеновская трубка
|
|
5
|
Максимальное
напряжение, кВ
|
180
|
|
6
|
Максимальная
мощность, Вт
|
15
|
|
7
|
Конструкция
|
открытая,
с прострельной мишенью
|
|
8
|
Различимость
деталей, мкм
|
≤ 0,5
|
|
Разрешение
системы
|
|
9
|
Физическое
разрешение детектора, МПикс
|
1 или 4
|
|
10
|
Максимальное
разрешение системы, МПикс.
|
4
|
|
11
|
Размер
вокселя, мкм
|
≤ 2 для
основной микрофокусной трубки
≤ 1 для
дополнительной нанофокусной трубки
|
|
Параметры
исследуемого образца
|
|
12
|
Максимальные
размеры (высотаХдиаметр), мм
|
600 х 300
600 х 600
(в режиме не полного вращения образца)
|
|
13
|
Максимальный
вес образца, кг
|
20 (для
томографии)
50 (для 2D инспекции)
|
|
Гарабиты
установки
|
|
14
|
ШхГхВ, мм
|
2620 х
1600 х 2100
|
|
15
|
Вес, кг
|
5600/7600
|
|
Особенности
|
|
16
|
Манипулятор
|
6-ть
степеней свободы:
Образец -
x, y, z, r.
Детектор –
x, y.
+1-а
степень (опционально: наклон образца)
Гранитное
основание
|
|
17
|
2D
инспекция
|
Ограниченная
Полноценная
– при использовании опции наклона образца
|
|
18
|
Метрология
|
Полноценная
|
|
19
|
Линейный
детектор
|
-
|
