№
|
Параметр
|
Значение
|
Основная
рентгеновская трубка
|
1
|
Максимальное
напряжение, кВ
|
300
|
2
|
Максимальная
мощность, Вт
|
500
|
3
|
Различимость
деталей, мкм
|
≤ 1
|
4
|
Конструкция
|
Открытая,
с массивной мишенью
|
Дополнительная
рентгеновская трубка
|
5
|
Максимальное
напряжение, кВ
|
180
|
6
|
Максимальная
мощность, Вт
|
15
|
7
|
Конструкция
|
открытая,
с прострельной мишенью
|
8
|
Различимость
деталей, мкм
|
≤ 0,5
|
Разрешение
системы
|
9
|
Физическое
разрешение детектора, МПикс
|
4 или 8
|
10
|
Максимальное
разрешение системы, МПикс.
|
8 или 16
|
11
|
Размер
вокселя, мкм
|
≤ 2 для
основной микрофокусной трубки
≤ 1 для
дополнительной нанофокусной трубки
|
Параметры
исследуемого образца
|
12
|
Максимальные
размеры (высотаХдиаметр), мм
|
600 х 320
600х500
(при использовании опции виртуального расширения детектора)
|
13
|
Максимальный
вес образца, кг
|
50
|
Гарабиты
установки
|
14
|
ШхГхВ, мм
|
4700 х
3500 х 2600
|
15
|
Вес, кг
|
23 000
|
Особенности
|
16
|
Манипулятор
|
7-мь
степеней свободы:
Образец -
x, z, r. Трубка – y. Детектор - x,y,z.
+1-а
степень (опционально: наклон образца)
Гранитное
основание
|
17
|
2D
инспекция
|
Ограниченная
Полноценная
– при использовании опции наклона образца
|
18
|
Метрология
|
Ограниченная
|
19
|
Линейный
детектор
|
-
|